[发明专利]一种电子元件的高低温测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 202110227322.X | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN112595921B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 孙毅俊 | 申请（专利权）人： | 天津金海通半导体设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人： | 苏冲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子元件的高低温测试装置及其测试方法，包括控温模块、测试基座、驱动结构和测试台，所述控温模块包括管路接头、一号管路、隔热件、插片式流道、压制件、导热件、保温件、内部温度传感器、外部温度传感器和若干加热器。本发明所述的一种电子元件的高低温测试装置及其测试方法无需冷热平衡，通过外部温控机构高频开关来实现控温模块流道内制冷介质的通断，而且大幅减少了能耗，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子元件 低温 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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