[发明专利]描画装置在审

专利信息
申请号: 202110226010.7 申请日: 2021-03-01
公开(公告)号: CN113341657A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 神田宽行;原望 申请(专利权)人: 株式会社斯库林集团
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 金辉;崔炳哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及描画装置(1),包括:供给部(51),保持卷绕有长条的基材(9)的供给辊(511);工作台(52),将从供给部拉出的基材保持于保持面(521)上;回收部(53),利用回收辊(531)卷绕通过保持面的基材;搬运部(54),在非描画图案时,沿着从供给部通过保持面至回收部的搬运路径搬运基材;光射出部(31),在描画图案时射出光;以及移动机构(4),在描画图案时,在移动方向上移动工作台。在沿着保持面上的基材的宽度方向观察时,在移动方向上的、位于工作台的一端附近的折返位置,搬运路径在移动方向上被折返,并且在与折返位置相比更靠工作台侧配置供给部以及回收部。由此,能够更高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。
搜索关键词: 描画 装置
【主权项】:
暂无信息
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