[发明专利]描画装置在审
| 申请号: | 202110226010.7 | 申请日: | 2021-03-01 |
| 公开(公告)号: | CN113341657A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
| 发明(设计)人: | 神田宽行;原望 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 金辉;崔炳哲 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及描画装置(1),包括:供给部(51),保持卷绕有长条的基材(9)的供给辊(511);工作台(52),将从供给部拉出的基材保持于保持面(521)上;回收部(53),利用回收辊(531)卷绕通过保持面的基材;搬运部(54),在非描画图案时,沿着从供给部通过保持面至回收部的搬运路径搬运基材;光射出部(31),在描画图案时射出光;以及移动机构(4),在描画图案时,在移动方向上移动工作台。在沿着保持面上的基材的宽度方向观察时,在移动方向上的、位于工作台的一端附近的折返位置,搬运路径在移动方向上被折返,并且在与折返位置相比更靠工作台侧配置供给部以及回收部。由此,能够更高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。 | ||
| 搜索关键词: | 描画 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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