[发明专利]描画装置在审
| 申请号: | 202110226010.7 | 申请日: | 2021-03-01 |
| 公开(公告)号: | CN113341657A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
| 发明(设计)人: | 神田宽行;原望 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 金辉;崔炳哲 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 描画 装置 | ||
1.一种描画装置,在长条的基材上描画图案,其中,
包括:
供给部,保持卷绕有长条的基材的供给辊;
工作台,将从所述供给部拉出的所述基材保持于保持面;
回收部,利用回收辊卷绕通过了所述保持面的所述基材;
搬运部,具有搬运辊,在非描画图案时,沿着从所述供给部通过所述保持面至所述回收部的搬运路径搬运所述基材;
光射出部,在描画图案时,朝向所述保持面上的所述基材射出调制的光;以及
移动机构,在描画图案时,在沿着保持于所述保持面上的所述基材的长度方向的移动方向上,使所述工作台相对于所述光射出部移动,
在沿着所述保持面上的所述基材的宽度方向观察时,在所述移动方向上的、位于所述工作台的一端附近的折返位置,所述搬运路径在所述移动方向上被折返,
在与所述折返位置相比更靠所述工作台侧,配置有所述供给部以及所述回收部。
2.如权利要求1所述的描画装置,其中,
所述移动机构使所述工作台在所述移动方向上连续地移动,
所述供给部以及所述回收部能够在所述移动方向上移动。
3.如权利要求2所述的描画装置,其中,
还包括支承所述工作台、所述供给部以及所述回收部的基座部,
所述移动机构移动所述基座部。
4.如权利要求1-3中任一项所述的描画装置,其中,
所述供给部以及所述回收部彼此相邻地配置。
5.如权利要求1-4中任一项所述的描画装置,其中,
还包括:
校正值获取部,具有相对于所述工作台的相对的位置被固定的校正用检测部,通过在校正动作中将来自所述光射出部的光照射至所述校正用检测部,获取关于所述光射出部与所述工作台之间的相对位置的校正值,
沿着所述移动方向,依次排列有所述工作台、所述折返位置以及所述校正用检测部。
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