[发明专利]描画装置在审

专利信息
申请号: 202110226010.7 申请日: 2021-03-01
公开(公告)号: CN113341657A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 神田宽行;原望 申请(专利权)人: 株式会社斯库林集团
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 金辉;崔炳哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 描画 装置
【说明书】:

发明涉及描画装置(1),包括:供给部(51),保持卷绕有长条的基材(9)的供给辊(511);工作台(52),将从供给部拉出的基材保持于保持面(521)上;回收部(53),利用回收辊(531)卷绕通过保持面的基材;搬运部(54),在非描画图案时,沿着从供给部通过保持面至回收部的搬运路径搬运基材;光射出部(31),在描画图案时射出光;以及移动机构(4),在描画图案时,在移动方向上移动工作台。在沿着保持面上的基材的宽度方向观察时,在移动方向上的、位于工作台的一端附近的折返位置,搬运路径在移动方向上被折返,并且在与折返位置相比更靠工作台侧配置供给部以及回收部。由此,能够更高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。

技术领域

本发明涉及一种描画装置。

背景技术

以往,已知在柔性基板等长条的基材上描画图案的描画装置。在描画装置中,依次设置有:供给部,保持用于基材卷绕的供给辊;描画部,在基材上描画图案;以及回收部,利用回收辊卷绕基材。在描画部中,从供给辊拉出的基材的一部分被保持在工作台上,一边移动工作台一边在该部分上照射光,从而描画图案。被描画有图案的部分由回收辊卷绕。在这种描画装置种,在供给部与描画部之间、以及在描画部与回收部之间设置有吸收基材的松弛的跳动辊等。

另一方面,在描画部的两侧,经由跳动辊等配置供给部以及回收部的情况下,需要较大地占用描画装置的设置空间。另外,由于供给部与回收部之间的基材的搬运距离较长,也会产生基材的弯曲等的问题。因此,在日本特开2019-53140号公报(文献1)中,公开了如下装置:在设置有工作台的基座上,在工作台的两侧配置供给部以及回收部,在图案的描画过程中移动工作台时,供给部以及回收部也在与工作台一起在相同的方向上移动。

另外,在沿着基材的长度方向依次设置有供给部、描画部以及回收部的装置中,在进行供给辊以及回收辊的替换时,操作者需要在夹着描画部的两侧的位置之间移动,从而不能高效地进行替换操作。另外,如文献1所示,在工作台的两侧配置有供给部以及回收部的装置中也产生相同的问题。

发明内容

本发明的目的在于,提供在长条的基材上描画图案的描画装置,高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。

本发明的描画装置包括:供给部,保持卷绕有长条的基材的供给辊;工作台,将从所述供给部拉出的所述基材保持于保持面;回收部,利用回收辊卷绕通过了所述保持面的所述基材;搬运部,具有搬运辊,在非图案描画时,沿着从所述供给部通过所述保持面至所述回收部的搬运路径搬运所述基材;光射出部,在图案描画时,朝向所述保持面上的所述基材射出调制的光;以及移动机构,在图案描画时,在沿着保持于所述保持面上的所述基材的长度方向的移动方向上,使所述工作台相对于所述光射出部移动。在沿着所述保持面上的所述基材的宽度方向观察时,在所述移动方向上的、位于所述工作台的一端附近的折返位置,所述搬运路径在所述移动方向上被折返,并且在与所述折返位置相比更靠所述工作台侧,配置有所述供给部以及所述回收部。

根据本发明,能够高效地进行供给辊以及回收辊的替换操作。

优选为,所述移动机构使所述工作台在所述移动方向上连续地移动,并且所述供给部以及所述回收部能够在所述移动方向上移动。

优选为,描画装置还包括支承所述工作台、所述供给部以及所述回收部的基座部,所述移动机构移动所述基座部。

优选为,所述供给部以及所述回收部彼此相邻地配置。

优选为,描画装置还包括校正值获取部,该校正值获取部具有相对于所述工作台的相对的位置被固定的校正用检测部,通过在校正动作中将来自所述光射出部的光照射至所述校正用检测部,获取关于所述光射出部与所述工作台之间的相对位置的校正值,沿着所述移动方向依次排列有所述工作台、所述折返位置以及所述校正用检测部。

上述的目的以及其它的目的、特征、实施方式以及优点通过参照附图对本发明进行如下的详细说明而进一步体现。

附图说明

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