[发明专利]用于光纤槽的拐角结构有效
申请号: | 202110220377.8 | 申请日: | 2021-02-26 |
公开(公告)号: | CN113448012B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 尼古拉斯·A·波洛莫夫;J·K·丘;M·A·拉比;A·D·斯特里克 | 申请(专利权)人: | 格芯(美国)集成电路科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/122 | 分类号: | G02B6/122 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及用于光纤槽的拐角结构,揭示一种用于光纤槽的结构以及形成用于光纤槽的结构的方法。光子芯片包括基板和位于基板上方的互连结构。光子芯片具有第一外角、第二外角和从该第一外角延伸至该第二外角的侧边。基板包括沿着该第一外角和该第二外角之间的该侧边定位的凹槽。该凹槽设置成在凹槽拐角处与该侧边相交,该互连结构包括相邻于该第一凹槽拐角的金属结构。该金属结构相对于该光子芯片的该侧边在该互连结构中以对角方式延伸。 | ||
搜索关键词: | 用于 光纤 拐角 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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