[发明专利]用于光纤槽的拐角结构

权利要求书

1.一种用于光子芯片的结构，包括：

光子芯片，包括基板和位于该基板上方的互连结构，该光子芯片具有第一外角、第二外角和从该第一外角延伸至该第二外角的侧边，该基板包括沿着该第一外角和该第二外角之间的该侧边定位的凹槽，该凹槽设置成在第一凹槽拐角处与该侧边相交，该互连结构包括与该第一凹槽拐角相邻的多个第一金属结构，且该多个第一金属结构相对于该侧边在该互连结构中以对角方式延伸，

其中，该互连结构包括多个金属化层，该多个第一金属结构包括定位于该多个金属化层中的多个平板和多个通孔，且该多个通孔连接该多个平板。

2.根据权利要求1所述的结构，其中，该互连结构包括护环，且该多个第一金属结构设置在相邻于该护环的该第一凹槽拐角处。

3.根据权利要求2所述的结构，其中，该光子芯片包括多个光学组件和多个电子组件，该互连结构包括位于该多个光学组件和该多个电子组件的上方的一部分，且该多个第一金属结构定位于该第一凹槽拐角和该互连结构的该部分之间。

4.根据权利要求3所述的结构，其中，该多个光学组件包括相邻于该凹槽的边缘耦合器。

5.根据权利要求2所述的结构，其中，该护环包括多个第二金属结构，且该多个第一金属结构连接至该护环的该多个第二金属结构的不同部分。

6.根据权利要求5所述的结构，其中，该护环包括第一分段和第二分段，该第一分段和该第二分段在该第一凹槽拐角处相交，且该多个第一金属结构从该护环的该第一分段的该多个第二金属结构以对角方式延伸到该护环的该第二分段的该多个第二金属结构。

7.根据权利要求6所述的结构，其中，该多个第一金属结构以第一锐角与该护环的该第一分段的该多个第二金属结构相交，且该多个第一金属结构以第二锐角与该护环的该第二分段的该多个第二金属结构相交。

8.根据权利要求5所述的结构，其中，该互连结构包括多个金属化层，且该多个第一金属结构定位于该多个金属化层中，该多个第二金属结构定位于该多个金属化层中。

9.根据权利要求8所述的结构，其中，该多个第一金属结构和该多个第二金属结构各自包括定位于该多个金属化层中的多个平板和多个通孔。

10.根据权利要求2所述的结构，其中，该互连结构包括止裂轨，且该护环定位于该止裂轨和该多个第一金属结构之间。

11.根据权利要求1所述的结构，其中，该互连结构包括止裂轨，且该多个第一金属结构设置在与该止裂轨相邻的该第一凹槽拐角处。

12.根据权利要求1所述的结构，其中，该多个通孔包括多个条形通孔。

13.根据权利要求12所述的结构，其中，各该金属化层中的该多个条形通孔基本上彼此平行排列。

14.根据权利要求1所述的结构，其中，该凹槽包括在该光子芯片内部与该侧边间隔开的第二凹槽拐角，该互连结构包括相邻于该第二凹槽拐角的多个第二金属结构，且该多个第二金属结构设置在该第二凹槽拐角的附近。

15.根据权利要求14所述的结构，其中，该第二凹槽拐角具有270°的夹角，且该多个第二金属结构相对于该第二凹槽拐角在该互连结构中以对角方式延伸。