[发明专利]光微影系统控制方法、其设备及非暂时性计算机可读取媒体在审
| 申请号： | 202110203702.X | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN113391523A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 郑定亚;张汉龙;单师涵;陈立锐;苏彦硕 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 揭示了一种光微影系统控制方法、其设备及非暂时性计算机可读取媒体，控制极紫外光微影系统的方法包括：利用EUV辐射照射目标液滴，侦测目标液滴反射的EUV辐射，决定侦测到的EUV辐射像差，决定对应于像差的泽尼克多项式，以及执行校正动作以减少泽尼克多项式的泽尼克系数的偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 光微影 系统 控制 方法 设备 暂时性 计算机 读取 媒体 | ||
【主权项】：
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