[发明专利]一种晶圆光刻显影用的平贴设备在审
| 申请号： | 202110201443.7 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN113003185A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 胡慧红 | 申请（专利权）人： | 胡慧红 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其结构设有滑轨框架、升降台、平贴座、装配固定件，滑轨框架上方与装配固定件焊接连接，升降台后方活动连接在滑轨框架前方，平贴座可拆卸安装在升降台上方开口处，平贴座设有升降控制杆、推动装置、固定盘，升降控制杆上方固定连接着推动装置，推动装置内部啮合连接着固定盘底部，本发明通过推动装置内部推动盘在齿轮柱、限位杆与弧形环配合转动对放置在固定盘内晶圆推出拿取，防止了在对晶圆拿取时没间隙可利用使拿取结构的拿取端对晶圆表面造成划痕，通过卡固盘内转动装置对收紧端内的上升柱推动，使上升柱对配合固定在晶圆外的卡固件进行松紧，与缓冲块配合下使晶圆进行光刻时保证光刻的位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆光 显影 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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