[发明专利]一种晶圆光刻显影用的平贴设备

权利要求书

1.一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其结构设有滑轨框架(1)、升降台(2)、平贴座(3)、装配固定件(4)，其特征在于：所述滑轨框架(1)上方与装配固定件(4)焊接连接，所述升降台(2)后方活动连接在滑轨框架(1)前方，所述平贴座(3)可拆卸安装在升降台(2)上方开口处；

所述平贴座(3)设有升降控制杆(31)、推动装置(32)、固定盘(33)，所述升降控制杆(31)上方固定连接着推动装置(32)，所述推动装置(32)内部啮合连接着固定盘(33)底部。

2.如根据权利要求1所述的一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其特征在于：所述推动装置(32)由推杆(321)、动力齿环(322)、啮合杆(323)、限位端(324)组成，所述推杆(321)焊接连接在动力齿环(322)外壁下方，所述啮合杆(323)活动连接在动力齿环(322)上方与之相配合，所述动力齿环(322)上方两端活动连接着限位端(324)。

3.如根据权利要求2所述的一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其特征在于：所述啮合杆(323)包括齿轮柱(A1)、限位杆(A2)、推动盘(A3)、弧形环(A4)、轴承盘(A5)，所述齿轮柱(A1)上方啮合连接在推动盘(A3)内部，所述限位杆(A2)底部焊接连接在轴承盘(A5)顶面上，所述轴承盘(A5)嵌入连接在齿轮柱(A1)上方，所述弧形环(A4)顶面焊接连接在推动盘(A3)底面。

4.如根据权利要求1所述的一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其特征在于：所述固定盘(33)设有嵌入环(331)、缓冲块(332)、卡固盘(333)、盘体(334)，所述嵌入环(331)嵌入连接在盘体(334)内部表面上，所述缓冲块(332)固定连接在盘体(334)表面上，所述卡固盘(333)活动连接在盘体(334)下方。

5.如根据权利要求4所述的一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其特征在于：所述卡固盘(333)包括安装盘(B1)、转动装置(B2)、收紧端(B3)，所述安装盘(B1)内部设有收紧端(B3)，所述转动装置(B2)可拆卸安装在安装盘(B1)内部。

6.如根据权利要求5所述的一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其特征在于：所述转动装置(B2)由啮合端(B21)、推动环(B22)、配合杆(B23)组成，所述啮合端(B21)外壁与推动环(B22)啮合连接，所述推动环(B22)外端与配合杆(B23)底部配合连接。

7.如根据权利要求6所述的一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其特征在于：所述收紧端(B3)由环体(B31)、推动端(B32)、上升柱(B33)组成，所述推动端(B32)活动连接在环体(B31)内部，所述推动端(B32)与上升柱(B33)底部配合连接，所述上升柱(B33)可拆卸安装在环体(B31)内部。

8.如根据权利要求7所述的一种晶圆光刻显影用的平贴设备，其特征在于：所述上升柱(B33)由斜面柱(C1)、包裹罩(C2)、被动环块(C3)、连接环架(C4)组成，所述斜面柱(C1)底部贴合连接在包裹罩(C2)内壁上，所述包裹罩(C2)外壁与被动环块(C3)内壁配合连接，所述连接环架(C4)嵌套连接在被动环块(C3)内部。