[发明专利]拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统在审
申请号: | 202110190340.5 | 申请日: | 2017-07-13 |
公开(公告)号: | CN112786428A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 石泽繁 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统。所述拾取器保持基板和聚焦环,所述拾取器具有多个突起部,所述多个突起部保持基板的外周缘部,所述多个突起部的上表面与聚焦环抵接。 | ||
搜索关键词: | 拾取 装置 以及 等离子体 处理 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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