[发明专利]拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统

权利要求书

1.一种拾取器，保持基板和聚焦环，

所述拾取器具有多个突起部，所述多个突起部保持基板的外周缘部，所述多个突起部的上表面与聚焦环抵接。

2.根据权利要求1所述的拾取器，其特征在于，

所述突起部具有圆锥台形状，通过该圆锥台形状的锥部来保持所述基板，在该圆锥台形状的上表面与所述聚焦环抵接。

3.根据权利要求1或2所述的拾取器，其特征在于，

所述突起部由弹性体形成。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的拾取器，其特征在于，

所述拾取器设置于能够抽真空的模块的内部。

5.一种搬送装置，搬送基板和聚焦环，

所述搬送装置具有多个突起部，所述多个突起部保持基板的外周缘部，所述多个突起部的上表面与聚焦环抵接。

6.根据权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，

所述突起部具有圆锥台形状，通过该圆锥台形状的锥部来保持所述基板，在该圆锥台形状的上表面与所述聚焦环抵接。

7.根据权利要求5或6所述的搬送装置，其特征在于，

所述突起部由弹性体形成。

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的搬送装置，其特征在于，

所述搬送装置设置于能够抽真空的模块的内部。

9.一种等离子体处理系统，具备：

工艺模块；

传递模块，其与所述工艺模块连接；

第一加载互锁真空模块和第二加载互锁真空模块，所述第一加载互锁真空模块和所述第二加载互锁真空模块与所述传递模块连接；

搬送模块，其与所述第一加载互锁真空模块和所述第二加载互锁真空模块连接；

加载端口，其与所述搬送模块连接；以及

搬送装置，其搬送基板和聚焦环，具有多个突起部，所述多个突起部保持基板的外周缘部，所述多个突起部的上表面与聚焦环抵接，

其中，所述搬送装置设置于所述传递模块的内部，在所述工艺模块、所述第一加载互锁真空模块及所述第二加载互锁真空模块之间搬送所述聚焦环。

10.根据权利要求9所述的等离子体处理系统，其特征在于，

在不将所述工艺模块向大气开放地由所述搬送装置将使用完毕的聚焦环从所述工艺模块搬送至所述第二加载互锁真空模块后，不将所述工艺模块向大气开放地由所述搬送装置将未使用的聚焦环从所述第一加载互锁真空模块搬送至所述工艺模块。

11.一种拾取器，保持基板和聚焦环，

所述拾取器具备多个突起部，各突起部具有与聚焦环抵接的表面，所述表面配置于比被所述拾取器保持的基板的外缘靠外侧的位置。