[发明专利]一种抛光液供给臂和化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 202110174870.0 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN112847145B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 许振杰;梁清波 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/34;B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液供给臂和化学机械抛光装置，抛光液供给臂包括基座，其上配置有基座孔；定位轴，其设置于所述基座孔中；悬臂，其通过套筒转动连接于所述定位轴；抛光液供给管，其经由所述基座及定位轴向上延伸并沿所述悬臂的长度方向设置；锁紧组件，其包括固定件和活动件，所述固定件设置于所述定位轴的顶部，所述活动件连接于所述悬臂并位于所述定位轴的上侧；所述固定件与活动件在竖直方向上至少部分重叠，以在所述悬臂摆动至在线位置时，固定件与活动件磁吸为一体，以提升抛光液滴落位置的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 供给 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华海清科股份有限公司，未经华海清科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110174870.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种内圈带齿的交叉滚子轴承
- 下一篇：一种细菌通用靶标及其筛选方法和应用
