[发明专利]一种抛光液供给臂和化学机械抛光装置

权利要求书

1.一种抛光液供给臂，其特征在于，包括：

基座，其上配置有基座孔；

定位轴，其设置于所述基座孔中；

悬臂，其通过套筒转动连接于所述定位轴；

抛光液供给管，其经由所述基座及定位轴向上延伸并沿所述悬臂的长度方向设置；

锁紧组件，其包括固定件和活动件，所述固定件设置于所述定位轴的顶部，所述活动件连接于所述悬臂并位于所述定位轴的上侧；

所述固定件与活动件在竖直方向上至少部分重叠，以在所述悬臂摆动至在线位置时，固定件与活动件磁吸为一体；还包括固定于定位轴顶部的缓冲件，所述缓冲件与活动件之间设置有间隙；

所述定位轴的顶部设置有限位块，其由磁性金属制成；所述悬臂摆动至离线位置时，其上的活动件位于所述限位块的上侧；所述固定件及活动件的内部配置有磁扣，活动件底部磁扣的中轴线垂直于所述限位块的上表面。

2.如权利要求1所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述定位轴能够绕其轴线在所述基座孔中转动，以调节连接在定位轴的所述固定件相对于所述基座的位置。

3.如权利要求1所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述固定件通过连接环设置于所述定位轴的顶面，所述固定件包括连接板和第一固定块，所述第一固定块配置有放置孔，磁扣配置于所述放置孔并由所述连接板固定。

4.如权利要求1所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述活动件包括第二固定块和盖板；所述第二固定块的侧部配置有耳板，所述耳板固定于所述悬臂；所述第二固定块配置有放置孔，磁扣配置于所述放置孔并由所述盖板固定。

5.如权利要求1所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述活动件的底面与所述限位块的顶面之间设置有间隙，所述间隙为0.2mm-2mm。

6.如权利要求1所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述缓冲件为弧形板，其上配置有连接耳，所述缓冲件通过连接耳固定于所述定位轴的顶部。

7.如权利要求6所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述缓冲件由金属材料制成，所述悬臂在离线位置和在线位置转换时，所述缓冲件切割活动件的磁扣产生的磁力线形成感应磁场，以阻碍悬臂的摆动速度。

8.如权利要求3所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述连接环的顶面配置有腰形孔，所述腰形孔的内侧壁及外侧壁与所述连接环同心设置，所述连接环能够绕所述定位轴转动，以调节其上的固定件相对于所述基座的位置。

9.一种化学机械抛光装置，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的抛光液供给臂。