[发明专利]一种高纯靶材真空喷涂装置在审
| 申请号： | 202110170481.0 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112974082A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 余成有 | 申请（专利权）人： | 厦门佰顺兴自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B16/20 | 分类号： | B05B16/20;B05B13/02;B05D3/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 蔡金塔 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市同*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高纯靶材真空喷涂装置，其可包括：机架；卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，其上设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；等离子喷枪，固定安装在喷枪安装口上，在其两边的一段筒体上设有第一水冷结构，等离子喷枪内设有用于冷却喷嘴的第二水冷结构；靶材转动行走机构，其部分安装在机架上和部分安装在筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在筒体内行走和转动，其上设有用于对靶材和靶材安装管进行冷却的第三水冷结构；抽真空组件，其与真空管接口连通；以及抽烟组件，其安装在抽烟口上，用于将喷涂时产生的烟气及时抽出。采用本发明能够制造合格的高纯靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 真空 喷涂 装置 | ||
【主权项】：
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