[发明专利]一种高纯靶材真空喷涂装置

说明书

本发明涉及一种高纯靶材真空喷涂装置，其可包括：机架；卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，其上设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；等离子喷枪，固定安装在喷枪安装口上，在其两边的一段筒体上设有第一水冷结构，等离子喷枪内设有用于冷却喷嘴的第二水冷结构；靶材转动行走机构，其部分安装在机架上和部分安装在筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在筒体内行走和转动，其上设有用于对靶材和靶材安装管进行冷却的第三水冷结构；抽真空组件，其与真空管接口连通；以及抽烟组件，其安装在抽烟口上，用于将喷涂时产生的烟气及时抽出。采用本发明能够制造合格的高纯靶材。

技术领域

本发明涉及真空喷涂装置，具体地涉及一种用于制造高纯靶材的真空喷涂装置。

背景技术

用于真空溅镀的靶材的含氧量越低越好，通常将含氧量在1000ppm以下的靶材称为高纯靶材。现有的真空喷涂装置的真空筒体是直径为1.5米的碳钢筒体，其内壁容易吸附大量的氧，而在喷涂过程中，这些吸附在内壁上的氧会在高温下释放出来，进而吸附到靶材上，使靶材的含氧量高而达不到高纯靶材的要求。因此急需一种能够制造高纯靶材的真空喷涂装置。

发明内容

本发明旨在提供一种用于制造高纯靶材的真空喷涂装置，以解决上述问题。为此，本发明采用的具体技术方案如下：

一种高纯靶材真空喷涂装置，其可包括：

机架；

卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，所述卧式真空筒体设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；

等离子喷枪，所述等离子喷枪固定安装在所述喷枪安装口上并且其喷嘴位于所述卧式真空筒体内，在所述等离子喷枪两边的一段所述卧式真空筒体上设有用于对该段所述卧式真空筒体进行冷却的第一水冷结构，所述等离子喷枪内设有用于冷却所述喷嘴的第二水冷结构；

靶材转动行走机构，其部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动，所述靶材转动行走机构上设有用于对所述靶材安装管和靶材进行冷却的第三水冷结构；

抽真空组件，其与所述真空管接口连通，用于对所述卧式真空筒体抽真空；

以及抽烟组件，其安装在所述抽烟口上，用于将喷涂时产生的烟气及时抽出。

进一步地，所述卧式真空筒体的内壁的光洁度Ra≤1.5um。

进一步地，所述卧式真空筒体设有可转动打开的端盖，所述端盖对应的开口为靶材的进出口。

进一步地，所述第一水冷结构包括环形端板、螺旋状间隔条和外套，所述外套具有位于一端下方的进水口和位于另一端上端的出水口，环形端板、螺旋状间隔条和外套焊接在一起以形成从所述进水口至所述出水口的环绕所述卧式真空筒体外壁的螺旋状通道。

进一步地，所述等离子喷枪为三阳极等离子喷枪。

进一步地，所述三阳极等离子喷枪具有周向均匀间隔开的三个进料口，两个所述进料口之间设有一个阳极。

进一步地，靶材转动行走机构包括第一轨道、第二轨道、第一安装座和至少两个第二安装座、转轴、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一轨道和所述第二轨道分别安装在机架上和所述卧式真空筒体内并在一直线上，所述第一安装座和所述第二安装座分别滑动接合在所述第一轨道和第二轨道上，所述转轴可转动地安装所述第一安装座和所述第二安装座上，其一端与所述第一驱动装置驱动连接，另一端与所述靶材安装管的一端连接，所述靶材从所述靶材安装管的另一端套入并安装在所述靶材安装管上，其末端可转动地安装在所述第二安装座上，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置安装在所述机架上，分别与所述转轴和所述第一安装座驱动连接。