[发明专利]一种高纯靶材真空喷涂装置

权利要求书

1.一种高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于，包括：

机架；

卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，所述卧式真空筒体设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；

等离子喷枪，所述等离子喷枪固定安装在所述喷枪安装口上并且其喷嘴位于所述卧式真空筒体内，在所述等离子喷枪两边的一段所述卧式真空筒体上设有用于对该段所述卧式真空筒体进行冷却的第一水冷结构，所述等离子喷枪内设有用于冷却所述喷嘴的第二水冷结构；

靶材转动行走机构，其部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动，所述靶材转动行走机构上设有用于对所述靶材安装管和靶材进行冷却的第三水冷结构；

抽真空组件，其与所述真空管接口连通，用于对所述卧式真空筒体抽真空；

以及抽烟组件，其安装在所述抽烟口上，用于将喷涂时产生的烟气及时抽出。

2.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述卧式真空筒体的内壁的光洁度Ra≤1.5um。

3.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述卧式真空筒体设有可转动打开的端盖，所述端盖对应的开口为靶材的进出口。

4.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述第一水冷结构包括环形端板、螺旋状间隔条和外套，所述外套具有位于一端下方的进水口和位于另一端上端的出水口，环形端板、螺旋状间隔条和外套焊接在一起以形成从所述进水口至所述出水口的环绕所述卧式真空筒体外壁的螺旋状通道。

5.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述等离子喷枪为三阳极等离子喷枪。

6.如权利要求5所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述三阳极等离子喷枪具有周向均匀间隔开的三个进料口，两个所述进料口之间设有一个阳极。

7.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述靶材转动行走机构包括第一轨道、第二轨道、第一安装座和至少两个第二安装座、空心转轴、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一轨道和所述第二轨道分别安装在机架上和所述卧式真空筒体内并在一直线上，所述第一安装座和所述第二安装座分别滑动接合在所述第一轨道和第二轨道上，所述转轴可转动地安装所述第一安装座和所述第二安装座上，其一端与所述第一驱动装置驱动连接，另一端与所述靶材安装管的一端连接，所述靶材从所述靶材安装管的另一端套入并安装在所述靶材安装管上，其末端可转动地安装在所述第二安装座上，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置安装在所述机架上，分别与所述转轴和所述第一安装座驱动连接。

8.如权利要求7所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述第三水冷结构由进水管、所述靶材、所述靶材安装管和所述转轴构成，所述进水管安装在所述第二安装座上，通过法兰与所述靶材密封连接，所述转轴的自由端为出水口。

9.如权利要求7所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述第一驱动装置包括第一电机、两个第一同步轮和第一同步传动带，所述第一电机固定在所述机架上，所述两个第一同步轮分别固定在所述第一电机的输出轴和所述转轴上，所述第一同步传动带环绕在所述两个第一同步轮上；以及所述第二驱动装置包括第二电机、两个第二同步轮和第二同步传动带，所述第二电机固定在所述机架上，所述两个第二同步轮中的一个固定在所述第二电机的输出轴上，另一个固定在所述机架上，所述述第二同步传动带环绕在所述两个第二同步轮上，所述第一安装座与所述第二同步传动带固定连接。

10.如权利要求1所述的高纯靶材真空喷涂装置，其特征在于：所述抽真空组件和抽烟组件均包括T字形的三通管，所述三通管上安装有开关装置，所述开关装置包括气缸和阀板，所述阀板的圆周上安装有至少两个O形密封圈，所述气缸推动所述阀板往复运动，使封闭或打开所述真空管接口和抽烟口。