[发明专利]一种光阻物料的使用方法和检测系统有效
| 申请号： | 202110153468.4 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112965339B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 潘柏松;袁海江 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G47/74 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光阻物料的使用方法和检测系统，包括步骤：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室或处理室；通过系统检测自动化的方式，避免了人工可能出错的情况，而且减少了工时，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物料 使用方法 检测 系统 | ||
【主权项】：
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