[发明专利]一种光阻物料的使用方法和检测系统

权利要求书

1.一种光阻物料的使用方法，其特征在于，包括步骤：

步骤A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；

步骤B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；

步骤C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；

步骤D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及

步骤E：当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回冷冻室或处理室；

所述步骤A中：

当所述光阻物料进入冷冻状态时，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；

所述步骤B中：

步骤B1：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则将光阻物料从冷冻室送入解冻室；

步骤B2：当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，若是，则判定检测合格；

所述物料信息包括解冻完成次数，所述预设情况包括停机操作和机台换料操作。

2.如权利要求1所述的一种光阻物料的使用方法，其特征在于，所述步骤B中：

当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，计时离开冷冻室的冷冻送出时间；

所述步骤C中：

当检测到将所述光阻物料送出解冻室时，计时离开解冻室的解冻送出时间；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻完成次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间，若均符合，则判定检测合格。

3.如权利要求1所述的一种光阻物料的使用方法，其特征在于，

所述步骤B中：

当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，记录一次冷冻送出次数；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，若符合，则判定检测合格。

4.如权利要求1所述的一种光阻物料的使用方法，其特征在于，

所述步骤B2中：

当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。

5.如权利要求1所述的一种光阻物料的使用方法，其特征在于，

当发生紧急情况时，检测处于解冻状态下的光阻物料；若光阻物料解冻时间未达到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并送回冷冻室；

若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室。

6.如权利要求5所述的一种光阻物料的使用方法，其特征在于，

所述紧急情况包括停机操作。

7.如权利要求1所述的一种光阻物料的使用方法，其特征在于，所述物料信息还包括物料存量，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。