[发明专利]一种光阻物料的使用方法和检测系统

说明书

本申请公开了一种光阻物料的使用方法和检测系统，包括步骤：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室或处理室；通过系统检测自动化的方式，避免了人工可能出错的情况，而且减少了工时，节约了成本。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种光阻物料的使用方法和检测系统。

背景技术

光刻工艺是半导体制程工艺中的常见工艺，光阻(photoresist，PR)，也称光刻胶或光阻剂，是指通过各种光照或辐射，使其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于集成电路和显示面板中。

目前，光阻物料从冷冻室移动到机台的过程主要还是靠人工进行判断和指挥搬送设备搬运到机台上，例如：工作人员将光阻物料从冷冻室内取出，然后使用推车等运输工具将光阻物料运输到解冻室，将解冻好的光阻物料运输到机台，在未变质的情况下可以多次冷冻解冻重复使用，但是多次重复之后，光阻物料可能产生变质，使用变质的光阻物料会使得机台制程不良，需要人为进行把控次数，而且通过人为控制容易出错。

发明内容

本申请的目的是提供一种光阻物料的使用方法和检测系统，实现光阻物料的系统化管控。

本申请公开了一种光阻物料的使用方法，包括：

步骤A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；

步骤B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，

并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；

步骤C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；

步骤D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及

步骤E：当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室或处理室。

可选的，所述步骤A中：

当所述光阻物料进入冷冻状态时，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；

所述步骤B中：

步骤B1：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则将光阻物料从冷冻室送入解冻室；

步骤B2：当所述光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，若是，则判定检测合格。

可选的，所述步骤B中：

当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，计时离开冷冻室的冷冻送出时间；

所述步骤C中：

当检测到将所述光阻物料送出解冻室时，计时离开解冻室的解冻送出时间；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻完成次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间，若均符合，则判定检测合格。