[发明专利]电子级三氟化氯的收集装置有效
| 申请号： | 202110142437.9 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN112944204B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 申黎明;华祥斌;陈施华;华小林;于睿洁;吴强 | 申请（专利权）人： | 福建德尔科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/14 | 分类号： | F17C1/14;F17C13/08;F17C13/02;G01N30/66;G01N30/02 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子级三氟化氯的收集装置，包括：内罐(10)，其包括哈氏合金罐体(101)、设置于哈氏合金罐体(101)顶部和底部的进料管(102)以及出料管(103)、以及用于测量哈氏合金罐体(101)内部压力的压力传感器(104)；外套夹层(12)，包括包裹于内罐(10)的不锈钢外层(120)，以及与不锈钢外层(120)联通的惰性气体通入管道(121)以及惰性气体出口管道(122)；夹持设置于外套夹层(12)以及内罐(10)之间冷凝组件(11)，其包括冷凝管道(111)以及分别与冷凝管道(111)联通的进液管道(110)以及出液管道(112)；分析组件以及报警组件，分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，报警组件用于检测到三氟化氯时报警。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 氟化 收集 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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