[发明专利]电子级三氟化氯的收集装置

说明书

本发明提供了一种电子级三氟化氯的收集装置，包括：内罐(10)，其包括哈氏合金罐体(101)、设置于哈氏合金罐体(101)顶部和底部的进料管(102)以及出料管(103)、以及用于测量哈氏合金罐体(101)内部压力的压力传感器(104)；外套夹层(12)，包括包裹于内罐(10)的不锈钢外层(120)，以及与不锈钢外层(120)联通的惰性气体通入管道(121)以及惰性气体出口管道(122)；夹持设置于外套夹层(12)以及内罐(10)之间冷凝组件(11)，其包括冷凝管道(111)以及分别与冷凝管道(111)联通的进液管道(110)以及出液管道(112)；分析组件以及报警组件，分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，报警组件用于检测到三氟化氯时报警。

技术领域

本发明涉及一种电子级三氟化氯的收集装置。

背景技术

目前，三氟化氯是一种氧化性极强的芯片刻蚀清洗剂，它能与大多数有机材料和无机材料甚至金属材料反应，可以使许多材料发生剧烈燃烧，在某些情况下甚至会爆炸。由于三氟化氯特殊的氧化性，对设备的材质及结构都有严苛的要求。国内尚未有收集和储存电子级三氟化氯的专用设备的相关报道。

发明内容

本发明提供了一种电子级三氟化氯的收集装置，可以有效解决上述问题。

本发明是这样实现的：

一种电子级三氟化氯的收集装置，包括：

内罐，其包括哈氏合金罐体、设置于所述哈氏合金罐体顶部和底部的进料管以及出料管、以及用于测量所述哈氏合金罐体内部压力的压力传感器；

外套夹层，包括包裹于所述内罐的不锈钢外层，以及与所述不锈钢外层联通的惰性气体通入管道以及惰性气体出口管道；

夹持设置于所述外套夹层以及所述内罐之间冷凝组件，其包括冷凝管道以及分别与所述冷凝管道联通的进液管道以及出液管道；

分析组件以及报警组件，所述分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，所述报警组件用于检测到三氟化氯时报警。

作为进一步改进的，所述冷凝组件的温度范围为-30℃～-50℃。

作为进一步改进的，所述哈氏合金罐体的内表面的表面光洁度Rmax 3 μm。

作为进一步改进的，所述哈氏合金罐体的内表面进一步包括三氟化氯钝化层以及氟气钝化层。

作为进一步改进的，所述氟气钝化层为通过将所述哈氏合金罐体抽真空，然后充装纯度99％以上的高纯氟1～5天后形成。

作为进一步改进的，所述三氟化氯钝化层为通过将形成有氟气钝化层的哈氏合金罐体抽真空，然后充装纯度99.9％以上的高纯三氟化氯1～5天后形成。

作为进一步改进的，所述收集装置进一步包括一称量组件，用于获取所述三氟化氯的实际存储量，定义所述哈氏合金罐体的体积为ML，其中，所述三氟化氯的最大存储量为1.42Mkg。

作为进一步改进的，所述报警组件进一步用于当实际存储量等于最大存储量时报警并停止充装收集三氟化氯。

本发明的有益效果是：首先，相较于单层罐体，本发明提供的双层罐体安全性更强；其次，通过在外套夹层中布置冷凝组件，对罐体内层中电子级三氟化氯的收集提供冷源，使之快速的降温液化形成负压，存储于所述收集装置中；再次，外套夹层中冷凝组件外部循环流动性的惰性气体，对外套夹层实施气相密封，可有效的预防三氟化氯泄露带来的危害，即使泄漏也可以降低三氟化氯的活性；最后，通过分析组件以及报警组件可以实时进行分析和报警，提高安全等级。

附图说明