[发明专利]电子级三氟化氯的收集装置

权利要求书

1.一种电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，包括：

内罐（10），其包括哈氏合金罐体（101）、设置于所述哈氏合金罐体（101）顶部和底部的进料管（102）以及出料管（103）、以及用于测量所述哈氏合金罐体（101）内部压力的压力传感器（104）；

外套夹层（12），包括包裹于所述内罐（10）的不锈钢外层（120），以及与所述不锈钢外层（120）联通的惰性气体通入管道（121）以及惰性气体出口管道（122）；

夹持设置于所述外套夹层（12）以及所述内罐（10）之间冷凝组件（11），其包括冷凝管道（111）以及分别与所述冷凝管道（111）联通的进液管道（110）以及出液管道（112）；

分析组件以及报警组件，所述分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，所述报警组件用于检测到三氟化氯时报警；其中，所述分析组件包括：

切换单元（20），包括进气管道（201）、出气管道（202）、六通阀（203）、第一四通阀（204）以及第二四通阀（205），所述六通阀（203）包括顺序设置的a、b、c、d、e、f阀门，所述第一四通阀（204）包括顺序设置的g、h、i、j阀门，所述第二四通阀（205）包括顺序设置的k、l、m、n阀门；所述进气管道（201）与所述出气管道（202）分别连接a、b阀门；

定量杯（22），其两端分别连接所述c、f阀门；

载气单元（21），分别连接e、i、m阀门；

分离单元（23），包括两端分别连接d、g阀门的氟醚油柱（230）、两端分别连接j、k阀门的第一分子筛（231）、与l阀门连接的第二分子筛（232），其中，所述氟醚油柱中固定液比固定相的质量比为0.3~0.5:1，且固定液为YLVAC06/16，固定相为401担体；

分析单元（24），包括与h阀门连接的第一气相色谱热导检测器（240）、连接于所述第一分子筛（231）与k阀门之间的第二气相色谱热导检测器（241）、连接于所述第二分子筛（232）的氦离子检测器（242）。

2.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述冷凝组件（11）的温度范围为-30℃~-50℃。

3.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述哈氏合金罐体（101）的内表面的表面光洁度 Rmax 3㎛。

4.如权利要求3所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述哈氏合金罐体（101）的内表面进一步包括三氟化氯钝化层以及氟气钝化层。

5.如权利要求4所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述氟气钝化层为通过将所述哈氏合金罐体（101）抽真空，然后充装纯度99%以上的高纯氟1~5天后形成。

6.如权利要求5所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述三氟化氯钝化层为通过将形成有氟气钝化层的哈氏合金罐体（101）抽真空，然后充装纯度99.9%以上的高纯三氟化氯1~5天后形成。

7.如权利要求2所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，进一步包括一称量组件，用于获取所述三氟化氯的实际存储量，定义所述哈氏合金罐体（101）的体积为ML，其中，所述三氟化氯的最大存储量为1.42Mkg。

8.如权利要求2所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述报警组件进一步用于当实际存储量等于最大存储量时报警并停止充装收集三氟化氯。