[发明专利]一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置及定位方法有效
| 申请号： | 202110132615.X | 申请日： | 2021-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN112992746B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;童建;霍召军 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置和方法，在常规的伺服电机控制行程的基础上，增加了进一步确定机械手位置停在正确的光电传感器，以及机械手未停在正确位置时的第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器，第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器既能够判断机械手是运动过度还是运动缺少，同时，第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器也是为了便于在机械手偏离较小的情况下，便于进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 设备 传输 机构 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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