[发明专利]一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置及定位方法有效

专利信息
申请号: 202110132615.X 申请日: 2021-01-31
公开(公告)号: CN112992746B 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 钱诚;童建;霍召军 申请(专利权)人: 江苏亚电科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/67
代理公司: 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 代理人: 陈平
地址: 225300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 设备 传输 机构 定位 装置 方法
【说明书】:

本申请涉及一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置和方法,在常规的伺服电机控制行程的基础上,增加了进一步确定机械手位置停在正确的光电传感器,以及机械手未停在正确位置时的第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器,第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器既能够判断机械手是运动过度还是运动缺少,同时,第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器也是为了便于在机械手偏离较小的情况下,便于进行调节。

技术领域

本申请属于晶圆清洗设备技术领域,尤其是涉及一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置。

背景技术

晶圆清洗设备传输机构是将晶圆篮或者直接将晶圆进行运输的机构,用于将晶圆传输至各个清洗工位。

如图1所示,即为一种晶圆清洗设备传输机构的结构,包括传输轨道1和机械手2,机械手2能够在传输轨道1上运动,机械手2停止在传输轨道1的特定位置上,特定位置与工位相对应,当机械手2停止时,即可实现晶圆的抓取和输送操作。现有技术中,通常通过设定伺服电机的运动行程,来对机械手2的停止位置进行控制,运动行程的控制通常又是通过控制电机的转动量来进行的,然而当传输过程中如果电机发生滑动等事故时,电机转动计数得到的运动行程量与机械手2实际运动行程不一致时就会对机械手2的实际位置发生误判,从而使晶圆的传输发出错误。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:为解决现有技术中的不足,从而提供一种能够更精确定位的晶圆清洗设备传输机构的定位装置及定位方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:

一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置,包括:

伺服电机,用于驱动机械手运动,具有电机编码器以控制机械手的运动方向和行程;

光电传感器,设置在机械手停止位置处;

第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器,设置在传输轨道上,分别位于光电传感器两侧;

控制器,用于读取光电传感器、第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器信号,并根据读取的信息和信号执行以下操作;

当伺服电机完成设定的行程并停止后,且光电传感器能够感应到机械手,且第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器之一在光电传感器能够感应到机械手之前感应到机械手时,即表明机械手到达正确位置;

当伺服电机完成设定的行程并停止后,光电传感器感应不到机械手,且第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器之一能够感应到机械手之前感应到机械手时,即表明机械手的位置发生了些许偏差,此时根据第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器的感应来确定机械手移动的方向,控制器通过控制伺服电机来控制机械手移动到光电传感器位置处;

当伺服电机完成设定的行程并停止后,光电传感器、第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器均感应不到机械手,说明机械手位置偏差较大,启动报警通知操作人员。

优选地,本发明的晶圆清洗设备传输机构的定位装置,第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器的感应器的宽度为2-5cm。

优选地,本发明的晶圆清洗设备传输机构的定位装置,所述控制器通过控制伺服电机来控制机械手移动到光电传感器位置处时,机械手的移动速度为通常移动速度的三分之一到二分之一。

优选地,本发明的晶圆清洗设备传输机构的定位装置,当伺服电机完成设定的行程并停止后,光电传感器感应不到机械手,且第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器之一能够感应到机械手之前感应到机械手时的情形发生多次时,且每次都是同一个块状光栅传感器感应到机械手,则通过控制器向电机编码器输出而调整设定的行程。

优选地,本发明的晶圆清洗设备传输机构的定位装置,所述控制器还能够读取伺服电机电流信息,当电流在运行过程中某个时间点增大或减小,且与块状光栅传感器感应位置匹配时,则报警提醒机械手的运行导轨或者齿条出现问题。

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