[发明专利]一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置及定位方法

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置，其特征在于，包括：

伺服电机，用于驱动机械手(2)运动，具有电机编码器以控制机械手(2)的运动方向和行程；

光电传感器(3)，设置在机械手(2)停止位置处；

第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)，设置在传输轨道(1)上，分别位于光电传感器(3)两侧；

控制器(5)，用于读取光电传感器(3)、第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)信号，并根据读取的信息和信号执行以下操作；

当伺服电机完成设定的行程并停止后，且光电传感器(3)能够感应到机械手(2)，且第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)之一在光电传感器(3)能够感应到机械手(2)之前感应到机械手(2)时，即表明机械手(2)到达正确位置；

当伺服电机完成设定的行程并停止后，光电传感器(3)感应不到机械手(2)，且第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)之一能够感应到机械手(2)之前感应到机械手(2)时，即表明机械手(2)的位置发生了些许偏差，此时根据第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)的感应来确定机械手(2)移动的方向，控制器(5)通过控制伺服电机来控制机械手(2)移动到光电传感器(3)位置处；

当伺服电机完成设定的行程并停止后，光电传感器(3)、第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)均感应不到机械手(2)，说明机械手(2)位置偏差较大，启动报警通知操作人员。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备传输机构的定位装置，其特征在于，第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)的感应器的宽度为2-5cm。

3.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备传输机构的定位装置，其特征在于，所述控制器(5)通过控制伺服电机来控制机械手(2)移动到光电传感器(3)位置处时，机械手(2)的移动速度为通常移动速度的三分之一到二分之一。

4.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备传输机构的定位装置，其特征在于，当伺服电机完成设定的行程并停止后，光电传感器(3)感应不到机械手(2)，且第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)之一能够感应到机械手(2)之前感应到机械手(2)时的情形发生多次时，且每次都是同一个块状光栅传感器感应到机械手(2)，则通过控制器向电机编码器输出而调整设定的行程。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备传输机构的定位装置，其特征在于，所述控制器还能够读取伺服电机电流信息，当电流在运行过程中某个时间点增大或减小，且与块状光栅传感器感应位置匹配时，则报警提醒机械手的运行导轨或者齿条出现问题。