[发明专利]用于浸没式光刻胶的含氟化合物及其制备方法、光刻胶有效
| 申请号： | 202110110177.7 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112898185B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 马潇;周浩杰;杨平原;夏正建;李庆伟;杨鑫楷;岳力挽;顾大公;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07C273/18 | 分类号： | C07C273/18;C07C275/52;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种用于浸没式光刻胶的含氟化合物及其制备方法，该方法包括：在反应容器中加入预备化合物、4‑二甲氨基吡啶、l‑乙基‑(3‑二甲基氨基丙基)碳二亚胺盐酸盐以及三氯甲烷，混合均匀形成反应体系；向反应体系中滴加N,N‑二甲基丙二胺，反应生成含氟化合物；其中，预备化合物的化学结构为 |
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| 搜索关键词： | 用于 浸没 光刻 氟化 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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