[发明专利]用于浸没式光刻胶的含氟化合物及其制备方法、光刻胶有效
| 申请号： | 202110110177.7 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112898185B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 马潇;周浩杰;杨平原;夏正建;李庆伟;杨鑫楷;岳力挽;顾大公;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07C273/18 | 分类号： | C07C273/18;C07C275/52;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 浸没 光刻 氟化 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于浸没式光刻胶的含氟化合物的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
在反应容器中加入预备化合物、4-二甲氨基吡啶、l-乙基-(3-二甲基氨基丙基)碳二亚胺盐酸盐以及三氯甲烷，混合均匀形成反应体系；
向所述反应体系中滴加N,N-二甲基丙二胺，反应生成所述含氟化合物；
其中，所述预备化合物的化学结构为
，n 的取值范围为1≦n≦12，n为整数；
所述预备化合物：4-二甲氨基吡啶：l-乙基-(3-二甲基氨基丙基)碳二亚胺盐酸盐(EDCI)：三氯甲烷为1:1:1:5～1:1:1:10；
所述N,N-二甲基丙二胺的投料量是所述预备化合物的1.2～2.5倍。
2.根据权利要求1所述的用于浸没式光刻胶的含氟化合物的制备方法，其特征在于，向所述反应体系中滴加N,N-二甲基丙二胺，反应生成所述含氟化合物的步骤之后，还包括：
室温下反应预设时长后，停止反应；
将反应液提纯处理后得到所述含氟化合物。
3.根据权利要求2所述的用于浸没式光刻胶的含氟化合物的制备方法，其特征在于，将反应液提纯处理的步骤包括：
用去离子水和饱和食盐水洗涤反应液；
将有机相分离，将所述有机相进行干燥；
过滤得滤液，去除所述滤液中的溶剂后得到所述含氟化合物。
4.根据权利要求3所述的用于浸没式光刻胶的含氟化合物的制备方法，其特征在于，在50-90℃下常压蒸馏去除所述滤液中的溶剂。
5.一种用于浸没式光刻胶的含氟化合物，其特征在于，所述含氟化合物由权利要求1-4任一所述制备方法制备获得。
6.一种光刻胶，其特征在于，所述光刻胶中添加有如权利要求5所述的含氟化合物。
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