[发明专利]一种调整MEMS麦克风吸合电压的工艺方法有效
| 申请号： | 202110105032.8 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112887895B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 吴庆才;侯永涛 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 唐静芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种调整MEMS麦克风吸合电压的工艺方法，MEMS麦克风包括基底、设置在基底上的振膜、及设置在振膜上的背板，基底具有空腔，调整MEMS麦克风吸合电压的工艺方法包括：提供等离子体化学气相沉积设备，等离子体化学气相沉积设备利用射频产生N |
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| 搜索关键词： | 一种 调整 mems 麦克风 电压 工艺 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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