[发明专利]一种晶圆片表面杂质检测装置和检测方法有效
| 申请号： | 202110099517.0 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112965130B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 刘波;夏跃 | 申请（专利权）人： | 江西瑞晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/10 | 分类号： | G01V8/10;G01N21/94;G01N21/01 |
| 代理公司： | 杭州知管通专利代理事务所(普通合伙) 33288 | 代理人： | 尉敏 |
| 地址： | 332000 江西省九*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆片表面杂质检测装置，包括晶圆片基座，所述晶圆片基座底部固定连接基座电机；所述晶圆片基座的两侧设置红外发射器和红外接收器，所述红外发射器和所述红外接收器以相互对射的方向设置，且对射的红外线扫过所述晶圆片基座上表面的上方；还包括主控器、数据选择电路和杂质提示灯；所述基座电机与主控器电性连接，并在所述主控器控制下转动；所述红外发射器与所述主控器电性连接，并受所述主控器控制启闭；所述红外接收器与所述数据选择电路的输入端电性连接，所述杂质提示灯与所述数据选择电路的输出端电性连接。本发明能够检测晶圆片全面积范围杂质情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 表面 杂质 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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