[发明专利]一种晶圆片表面杂质检测装置和检测方法

权利要求书

1.一种晶圆片表面杂质检测装置，其特征在于，包括晶圆片基座（600），所述晶圆片基座（600）底部固定连接基座电机（200）；所述晶圆片基座（600）的两侧设置红外发射器（300）和红外接收器（400），所述红外发射器（300）和所述红外接收器（400）以相互对射的方向设置，且对射的红外线扫过所述晶圆片基座（600）上表面的上方；

还包括主控器（100）、数据选择电路（800）和杂质提示灯（500）；

所述基座电机（200）与主控器（100）电性连接，并在所述主控器（100）控制下转动；所述红外发射器（300）与所述主控器（100）电性连接，并受所述主控器（100）控制启闭；

所述红外接收器（400）与所述数据选择电路（800）的输入端电性连接，所述杂质提示灯（500）与所述数据选择电路（800）的输出端电性连接；

所述数据选择电路（800）包括第一JK触发器（810）和第二JK触发器（820）；所述红外接收器（400）输出端与所述第一JK触发器（810）的第一脚口电性连接；

所述第一JK触发器（810）的第三脚口和所述红外接收器（400）的输出端共同电性接入第二与门选择器的两个输入端；所述第二与门选择器的输出端电性接入所述第二JK触发器（820）的第五脚口；

所述红外接收器（400）的输出端还电性接入第二非门选择器的输入端，所述第二非门选择器的输出端电性接入第二JK触发器（820）；

所述第二JK触发器（820）的第七脚口和所述红外接收器（400）的输出端共同电性接入第一与门选择器的两个输入端，所述第一与门选择器的输出端电性接入第一非门选择器的输入端，所述第一非门选择器的输出端电性接入所述第一JK触发器（810）的第二脚口；

所述第二JK触发器（820）的第七脚口和所述红外接收器（400）的输出端共同电性接入第三与门选择器的两个输入端，所述第三与门选择器的输出端为所述数据选择电路（800）的输出端；

所述第一JK触发器（810）和所述第二JK触发器（820）的脉冲信号输入端均与脉冲信号发生器（700）电性连接。

2.一种晶圆片表面杂质检测方法，应用于权利要求1所述的晶圆片表面杂质检测装置，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：晶圆片（900）被放置在所述晶圆片基座（600）上，所述主控器（100）控制所述基座电机（200）转动，所述基座电机（200）带动所述晶圆片基座（600）转动，从而带动所述晶圆片（900）转动；

步骤二：所述主控器（100）控制所述红外发射器（300）发射红外线，所述红外接收器（400）接收红外线；所述红外接收器（400）在接收到所述红外线时输出高电平，在未接收到红外线后输出低电平；

步骤三：所述脉冲信号发生器（700）定时向所述数据选择电路（800）输入脉冲信号；所述脉冲信号到来时，当所述红外接收器（400）输出端输出高电平，所述数据选择电路（800）被输入高电平；当所述红外接收器（400）输出低电平，所述数据选择电路（800）被输入高电平；

步骤四：所述数据选择电路（800）根据连续被输入的高电平数目来控制输出，从而控制所述杂质提示灯（500）的启闭。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片表面杂质检测方法，其特行在于，所述步骤四还包括：

在所述脉冲信号发生器（700）连续四个及四个以上的脉冲信号到达时刻的所述红外接收器（400）的输出端均输出为高电平时，所述数据选择电路（800）输出高电平控制所述杂质提示灯（500）亮起。