[发明专利]曝光机用光照射装置及包括其的曝光设备在审
| 申请号： | 202110069085.9 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN113138542A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 安范模;严永钦;韩新锡 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明一实施例的曝光机用光照射装置及包括其的曝光设备，所述曝光机用光照射装置可提供一种如下的曝光机用光照射装置，其包括：支持部；多个发光部，分别各别地设置在所述支持部的一面，且在外周面设置有生成光的多个发光体；以及多个反射部，分别以与所述多个发光部分别对应的方式各别地设置在所述支持部的所述一面，所述多个反射部被分为反射光的主光轴是水平的第一反射组与反射光的主光轴是倾斜的第二反射组。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 用光 照射 装置 包括 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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