[发明专利]叠压台及叠压装置有效
| 申请号： | 202110046748.5 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112687469B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 朱林涛;杨志;邓珏琼 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | H01G4/30 | 分类号： | H01G4/30;H01G4/12;H01G13/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张延薇 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种叠压台及叠压装置，涉及叠压装置技术领域，所述叠压台包括支撑机构、导向机构、驱动机构、下叠压工作台和关节轴承，所述驱动机构和所述导向机构均安装于所述支撑机构，所述驱动机构与所述下叠压工作台之间通过所述关节轴承连接，所述驱动机构用于驱动所述下叠压工作台沿所述导向机构的延伸方向移动。由于在驱动机构与下叠压工作台之间通过关节轴承连接，因此可在一定程度上抵消生产误差与装配误差。 | ||
| 搜索关键词： | 压台 装置 | ||
【主权项】：
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