[发明专利]叠压台及叠压装置有效

专利信息
申请号: 202110046748.5 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN112687469B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 朱林涛;杨志;邓珏琼 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: H01G4/30 分类号: H01G4/30;H01G4/12;H01G13/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张延薇
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 压台 装置
【权利要求书】:

1.一种叠压台,其特征在于,能够与机械手上的工作面找平而提高叠压时的施力均匀性;

包括:支撑机构、导向机构、驱动机构、下叠压工作台和关节轴承,所述驱动机构和所述导向机构均安装于所述支撑机构,所述驱动机构与所述下叠压工作台之间通过所述关节轴承连接,所述驱动机构用于驱动所述下叠压工作台沿所述导向机构的延伸方向移动;

所述驱动机构包括液压油缸和油缸法兰,液压油缸包括缸体和缸杆,所述关节轴承包括相互转动连接的轴承轴圈和轴承座圈,所述缸体通过所述油缸法兰与所述支撑机构连接,所述缸杆与所述轴承座圈相连,所述下叠压工作台与所述轴承轴圈相连;

所述叠压台还包括座圈安装套,所述座圈安装套安装于所述缸杆,所述轴承座圈固定于所述座圈安装套;

所述支撑机构包括承压框架和底架,所述承压框架包括上座板、下座板和支柱,所述支柱连接于所述上座板与所述下座板之间,所述底架连接于所述下座板下方,所述驱动机构安装于所述下座板下方,所述导向机构安装于所述下座板上方,所述下叠压工作台位于所述下座板上方;

所述导向机构包括花键轴,所述花键轴通过花键法兰连接于所述下座板,所述下叠压工作台包括下压台和固定座,所述下压台设置于所述固定座上方,所述固定座与所述花键轴滑动配合连接;

所述下叠压工作台还包括下加热台,所述下加热台安装于所述下压台与所述固定座之间;

所述下叠压工作台还包括隔热板,所述隔热板安装于所述下加热台与所述固定座之间;

还包括触发开关和开关触发板,所述触发开关安装于所述下座板,所述开关触发板安装于所述下叠压工作台,所述触发开关能够与指示灯、蜂鸣器、显示屏或者驱动机构连接,以反馈信号变化。

2.根据权利要求1所述的叠压台,其特征在于,所述支柱与所述上座板通过固定组件连接,所述固定组件包括螺柱、螺母、垫圈和紧定螺钉,所述螺柱的一端穿过所述支柱后旋入所述上座板,所述螺母套设于所述螺柱位于所述支柱外侧的区域,所述垫圈位于所述螺母与所述上座板之间,所述螺母与所述上座板之间通过所述紧定螺钉固定。

3.一种叠压装置,其特征在于,其包括机械手和如权利要求1-2任一所述的叠压台,所述机械手设置有上叠压工作台,所述机械手能够移动到所述叠压装置的下叠压工作台上方,所述上叠压工作台能够与所述下叠压工作台抵接。

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