[发明专利]离子源安装结构及真空设备有效
| 申请号： | 202110034534.6 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN112885697B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;蒋毅;冀鸣;赵刚;易洪波 | 申请（专利权）人： | 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 王园园 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南3*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源安装结构及真空设备，离子源安装结构包括：固定离子源的连接板，连接板通过滑动系统连接在真空腔体的面板上；连接板上设有提升机构，用于提升连接板相对于面板滑动运动；离子源通过旋转结构与连接板连接，用于将离子源相对于连接板翻转一角度，将离子源转向至设定位置；该技术方案，通过固定离子源的连接板、提升机构、滑动系统以及旋转结构；在需要对离子源进行维护/维修时，通过提升机构提升连接板。连接板在滑动系统导向下相对于面板提升一定距离，然后并将离子源绕旋转结构翻转一角度，将离子源转向至设定位置；从而可以使离子源的工作面朝向侧边，便于工程人员对离子源进行维护/维修作业，提升了作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 安装 结构 真空设备 | ||
【主权项】：
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