[发明专利]离子源安装结构及真空设备

权利要求书

1.一种离子源安装结构，其特征在于，包括：固定离子源的连接板，所述连接板通过滑动系统连接在真空腔体的面板上；

所述连接板上设有提升机构，用于提升连接板相对于所述面板滑动运动；

所述离子源通过旋转结构与连接板连接，用于将所述离子源相对于连接板翻转一角度，将离子源转向至设定位置；

所述连接板为U型结构，其中开口方向为离子源旋转方向；

所述旋转结构包括：设于所述离子源边上的两个旋转轴，以及设于连接板上支撑所述两个旋转轴的旋转固定座。

2.根据权利要求1所述的离子源安装结构，其特征在于，所述滑动系统包括多个直线运动机构，所述连接板通过所述直线机构在远离/靠近真空腔体的面板方向上直线导向运动。

3.根据权利要求2所述的离子源安装结构，其特征在于，所述直线运动机构包括四个直线轴承或直线导轨；所述直线轴承或直线导轨分别设置在连接板四个顶角位置。

4.根据权利要求1所述的离子源安装结构，其特征在于，所述提升机构包括梯形丝杆和丝杆螺母；

所述梯形丝杆的一端安装在设于所述面板的底座上，所述丝杆螺母固定在所述连接板上，所述丝杆螺母套设于所述梯形丝杆上；

所述梯形丝杆的另一端上设有旋转杆，用于旋转梯形丝杆以提升所述连接板。

5.根据权利要求1所述的离子源安装结构，其特征在于，所述两个旋转轴的连线经过所述离子源的重心位置。

6.根据权利要求1所述的离子源安装结构，其特征在于，所述旋转固定座上还设有位置固定销；

所述离子源上设有至少一个插孔，用于插入所述位置固定销，将所述离子源固定在一旋转角度位置处。

7.根据权利要求1所述的离子源安装结构，其特征在于，所述离子源上还设有旋转把手，用于翻转离子源。

8.一种真空设备，其特征在于，包括：真空腔室、离子源以及权利要求1-7任一项所述的离子源安装结构；

所述离子源安装结构用于在对所述离子源进行维护/维修时，将离子源提升至指定高度并旋转一角度，将离子源转向至设定位置。