[发明专利]离子源安装结构及真空设备

说明书

本申请涉及一种离子源安装结构及真空设备，离子源安装结构包括：固定离子源的连接板，连接板通过滑动系统连接在真空腔体的面板上；连接板上设有提升机构，用于提升连接板相对于面板滑动运动；离子源通过旋转结构与连接板连接，用于将离子源相对于连接板翻转一角度，将离子源转向至设定位置；该技术方案，通过固定离子源的连接板、提升机构、滑动系统以及旋转结构；在需要对离子源进行维护/维修时，通过提升机构提升连接板。连接板在滑动系统导向下相对于面板提升一定距离，然后并将离子源绕旋转结构翻转一角度，将离子源转向至设定位置；从而可以使离子源的工作面朝向侧边，便于工程人员对离子源进行维护/维修作业，提升了作业效率。

技术领域

本申请涉及真空设备技术领域，特别是一种离子源安装结构及真空设备。

背景技术

在真空刻蚀、真空镀膜等设备中，其技术主要是利用真空腔和离子源来实现，通常情况下，一套离子源系统的硬件部分的重量有几十公斤，使用的时候都是固定在真空腔室的面板上。

目前，离子源在维护/维修时，通常是现场拆除离子源，但由于安装的位置和操作空间有限，拆除或者更换零件显得尤为困难。而且，真空刻蚀机为了减少腔体体积，离子源通常是用法兰将其固定在上板顶部，工程人员拆除离子源需要将整个离子源的结构系统抬出来，或者工程人员从很小的空间里钻进去在有限的空间内进行维护/维修操作，严重影响了维护/维修的作业效率。

发明内容

基于此，有必要针对上述严重影响了维护/维修效率的作业效率的技术问题，提供一种离子源安装结构及真空设备。

一种离子源安装结构，包括：固定离子源的连接板，所述连接板通过滑动系统连接在真空腔体的面板上；

所述连接板上设有提升机构，用于提升连接板相对于所述面板滑动运动；

所述离子源通过旋转结构与连接板连接，用于将所述离子源相对于连接板翻转一角度，将离子源转向至设定位置。

在一个实施例中，所述连接板为U型结构，其中开口方向为离子源旋转方向。

在一个实施例中，所述滑动系统包括多个直线运动机构，所述连接板通过所述直线机构在远离/靠近真空腔体的面板方向上直线导向运动。

在一个实施例中，所述直线运动机构包括四个直线轴承或直线导轨；所述直线直线轴承或直线导轨分别设置在连接板四个顶角位置。

在一个实施例中，所述提升机构包括梯形丝杆和丝杆螺母；

所述梯形丝杆的一端安装在设于所述面板的底座上，所述丝杆螺母固定在所述连接板上，所述丝杆螺母套设于所述梯形丝杆上；

所述梯形丝杆的另一端上设有旋转杆，用于旋转梯形丝杆以提升所述连接板。

在一个实施例中，所述旋转结构包括：设于所述离子源边上的两个旋转轴，以及设于连接板上支撑所述两个旋转轴的旋转固定座。

在一个实施例中，所述两个旋转轴的连线经过所述离子源的重心位置。

在一个实施例中，所述旋转固定座上还设有位置固定销；

所述离子源上设有至少一个插孔，用于插入所述位置固定销，将所述离子源固定在一旋转角度位置处。

在一个实施例中，所述离子源上还设有旋转把手，用于翻转离子源。

一种真空设备，其特征在于，包括：真空腔室、离子源以及上述的离子源安装结构；

所述离子源安装结构用于在对所述离子源进行维护/维修时，将离子源提升至指定高度并旋转一角度，将离子源转向至设定位置。

本申请的技术方案具有如下有益效果：