[发明专利]功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的标定方法有效
| 申请号： | 202110032429.9 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN112698064B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;王艾琳;王兴刚;周明 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的标定方法属于半导体器件测试技术领域；该方法首先标定环形磁铁与圆形磁铁之间磁力和距离关系，设定气体压强阈值，测量圆形磁铁和密封垫的质量和；然后用压强阈值乘以连接件阶梯瞳孔中上部通孔横截面积，加上圆形磁铁和密封垫的质量和乘以重力加速度，得到磁力计算结果；根据磁力和距离之间的关系，和磁力计算结果，得到环形磁铁与圆形磁铁之间距离；再倒置调整件，将环形磁铁套在接触端上，并旋拧磁铁固定端，固定环形磁铁；最后正置调整件，调整件的接触端旋拧入泄压孔中；本发明应用于功率器件测试探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 器件 测试 探针 磁力 式泄压 结构 标定 方法 | ||
【主权项】：
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