[发明专利]功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的标定方法有效
| 申请号: | 202110032429.9 | 申请日: | 2020-07-01 | 
| 公开(公告)号: | CN112698064B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 | 
| 发明(设计)人: | 赵梁玉;王艾琳;王兴刚;周明 | 申请(专利权)人: | 强一半导体(苏州)有限公司 | 
| 主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00 | 
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 | 
| 地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 功率 器件 测试 探针 磁力 式泄压 结构 标定 方法 | ||
1.功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的标定方法,其特征在于,所述功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构在进气系统(1)上设置有泄压孔(1-3),所述泄压孔(1-3)内壁攻有螺纹,并旋拧有调整件(1-5),所述调整件(1-5)包括接触端(1-5-1)、环形磁铁(1-5-2)和上磁铁固定端(1-5-3),所述接触端(1-5-1)截面为T形、中间具有通孔,接触端(1-5-1)宽部侧壁套有螺纹,用于旋拧在泄压孔(1-3)内壁,接触端(1-5-1)窄部设置有环形磁铁(1-5-2),接触端(1-5-1)窄部侧壁套有螺纹,所述上磁铁固定端(1-5-3)内壁攻有螺纹,用于旋拧在接触端(1-5-1)窄部侧壁,接触端(1-5-1)宽部下方与上磁铁固定端(1-5-3)上方将环形磁铁(1-5-2)固定;所述泄压孔(1-3)内壁还旋拧有阀门件(1-4),所述阀门件(1-4)包括截面为倒T形、中间具有上窄下宽阶梯通孔的连接件(1-4-1),所述连接件(1-4-1)窄部侧壁套有螺纹,用于旋拧在泄压孔(1-3)内壁,所述阶梯通孔的宽部放置有圆形磁铁(1-4-2),所述圆形磁铁(1-4-2)上方粘贴有密封垫(1-4-3),圆形磁铁(1-4-2)侧壁设置有豁口,圆形磁铁(1-4-2)底部设置有豁口,侧壁豁口和底部豁口相连,阶梯通孔的宽部内壁攻有螺纹,并旋拧有中间具有通孔的遮挡环(1-4-4),圆形磁铁(1-4-2)在环形磁铁(1-5-2)的吸引和压缩空气的推动下,能够在遮挡环(1-4-4)上方上下运动;
所述功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的标定方法包括以下步骤:
步骤a、标定环形磁铁(1-5-2)与圆形磁铁(1-4-2)之间磁力和距离之间的关系;
步骤b、设定高温高压气体压强阈值;
步骤c、测量圆形磁铁(1-4-2)和密封垫(1-4-3)的质量和;
其中,步骤a、步骤b和步骤c能够按照任意先后顺序或同步进行;
步骤d、两个数值求和
第一个数值:压缩空气压强阈值乘以连接件(1-4-1)阶梯通孔中上部通孔横截面积;
第二个数值:圆形磁铁(1-4-2)和密封垫(1-4-3)的总质量乘以重力加速度;
步骤e、令磁力等于步骤d计算得到的结果;
步骤f、根据步骤a标定的磁力和距离之间的关系,再根据步骤e得到的计算结果,得到环形磁铁(1-5-2)与圆形磁铁(1-4-2)之间的距离;
步骤g、将调整件(1-5)倒置,将环形磁铁(1-5-2)套在接触端(1-5-1)上,并旋拧上磁铁固定端(1-5-3),将环形磁铁(1-5-2)固定;
步骤h、将调整件(1-5)正置,调整件(1-5)的接触端(1-5-1)旋拧入泄压孔(1-3)中,具体位置为:连接件(1-4-1)到泄压孔(1-3)下端面的距离为步骤f所述环形磁铁(1-5-2)与圆形磁铁(1-4-2)之间的距离减去密封垫(1-4-3)的厚度,再减去泄压孔(1-3)下端面到连接件(1-4-1)阶梯位置的距离,再加上环形磁铁(1-5-2)的厚度,再加上环形磁铁(1-5-2)上端面到接触端(1-5-1)上端面的距离。
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