[发明专利]一种镜头倍率的测量方法在审
| 申请号： | 202110019714.7 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114739634A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 胡传武;徐国栋;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215399 江苏省苏州市昆山市玉*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镜头倍率的测量方法，确定镜头的初始倍率；以初始倍率为基准获取多个相近测试倍率；以初始倍率和测试倍率分别曝光图形至感光基材；寻找拼接效果良好的曝光图形，所对应的倍率即为镜头的测量倍率，提高镜头倍率的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜头 倍率 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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