[发明专利]一种镜头倍率的测量方法在审
| 申请号： | 202110019714.7 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114739634A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 胡传武;徐国栋;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215399 江苏省苏州市昆山市玉*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镜头 倍率 测量方法 | ||
1.一种镜头倍率的测量方法，其特征在于：确定镜头的初始倍率；以初始倍率为基准获取多个相近测试倍率；以初始倍率和测试倍率分别曝光图形至感光基材；寻找拼接效果良好的曝光图形，所对应的倍率即为镜头的测量倍率。
2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于：所述测试倍率自初始倍率按一定的倍率步进值递增或者递减。
3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于：所述初始倍率和测试倍率按由小到大的顺序或者由大到小的顺序依次曝光图形至感光基材。
4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于：相邻的所述曝光图形之间具有间隔。
5.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于：所述曝光图形为宽度不同的线条。
6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于：所述线条的宽度根据镜头的解析能力设置。
7.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于：所述曝光图形为平行设置的直线。
8.根据权利要求7所述的测量方法，其特征在于：所述曝光图形为水平直线和竖直直线。
9.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于：多个镜头倍率同时测量时，获取每个镜头的初始倍率和测量倍率，选取覆盖所有镜头测试倍率的跨度；逐个选取测试倍率，所述多个镜头同时以选取的测试倍率对感光基材曝光获得曝光图形。
10.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于：多个镜头倍率同时测量时，获取每个镜头的初始倍率和测量倍率；依据每个镜头测试倍率的顺序，所述多个镜头同时依据顺序选取各自的测试倍率对感光基材曝光获得曝光图形。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于源能智创（江苏）半导体有限公司，未经源能智创（江苏）半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110019714.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
