[发明专利]一种镜头倍率的测量方法

说明书

本发明提供了一种镜头倍率的测量方法，确定镜头的初始倍率；以初始倍率为基准获取多个相近测试倍率；以初始倍率和测试倍率分别曝光图形至感光基材；寻找拼接效果良好的曝光图形，所对应的倍率即为镜头的测量倍率，提高镜头倍率的测量精度。

技术领域

本发明涉及一种镜头倍率的测量方法，尤其是应用于投影曝光领域的镜头倍率的测量方法。

背景技术

在投影曝光领域，光源发出的光线经由匀光系统、空间光调制元件及成像镜头投影至基板，完成对基板的曝光。其中，成像镜头具有一定的倍率，对空间光调制元件投射的图像进行缩小或者放大，镜头倍率的准确测量有助于获得精确的数字曝光图形，达到良好的曝光效果。

中国专利公开文本CN109270804A中公开了一种倾斜直写曝光机镜头倍率的标定调整方法，在曝光机的图形文件上标记两个标准标记点Mark1’和Mark2’，并测量Mark1’和。Mark2’之间的距离设定为L’；在DMD装置上构建形成DMD坐标系，在DMD上对应形成两个与Mark1’和Mark2’一一对应的对照标记点Mark1和Mark2； 设定Mark1和Mark2的距离为L，DMD像素点大小为P，Mark1和Mark2之间的距离L为N个DMD像素点，则L=N_×P；Mark1和Mark2通过光学成像镜头放大或缩小之后，在基板表面形成了两个新的标记点Mark3和Mark4；通过使用直写曝光设备上的高精度CCD组件，提取Mark3和Mark4的坐标，获得Mark3和Mark4的绝对距离M；计算出光学成像镜头当前实际倍率。

通过上述方法获得的镜头倍率，由于板厚测量误差、制造误差以及环境变化等影响，通常会导致测得的倍率和实际倍率之间具有差异。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种提高镜头倍率测量精度的镜头倍率的测量方法。

其技术方案是这样的：一种镜头倍率的测量方法，确定镜头的初始倍率；以初始倍率为基准获取多个相近测试倍率；以初始倍率和测试倍率分别曝光图形至感光基材；寻找拼接效果良好的曝光图形，所对应的倍率即为镜头的测量倍率。

进一步的，所述测试倍率自初始倍率按一定的倍率步进值递增或者递减。

进一步的，所述初始倍率和测试倍率按由小到大的顺序或者由大到小的顺序依次曝光图形至感光基材。

进一步的，相邻的曝光图形之间具有间隔。

进一步的，所述曝光图形为宽度不同的线条。

进一步的，所述线条的宽度根据镜头的解析能力设置。

进一步的，所述曝光图形为平行设置的直线。

进一步的，所述曝光图形为水平直线和竖直直线。

进一步的，多个镜头倍率同时测量时，获取每个镜头的初始倍率和测量倍率，选取覆盖所有镜头测试倍率的跨度；逐个选取测试倍率，所述多个镜头同时以选取的测试倍率对感光基材曝光获得曝光图形。

进一步的，多个镜头倍率同时测量时，获取每个镜头的初始倍率和测量倍率；依据每个镜头测试倍率的顺序，所述多个镜头同时依据顺序选取各自的测试倍率对感光基材曝光获得曝光图形。

通过上述方法，通过多个测试倍率的检测，获得更高精度的镜头倍率。

附图说明

图1是初始倍率测量示意图。

图2是对应于每个镜头倍率的曝光图形示意图。

图3是每个镜头多个倍率曝光完成示意图。

图4是多镜头同时曝光示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。