[发明专利]热载流子效应退化性能的评估方法在审
| 申请号： | 202110004222.0 | 申请日： | 2021-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114720831A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 胡健;吕康;熊阳 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种热载流子效应退化性能的评估方法，包括：提供字线和字线驱动器；对所述字线执行电性测试；对电性测试合格的样品执行特性测试，获得第一性能参数；向所述字线驱动器的输入端输入交流信号，以通过所述字线驱动器控制所述字线反复开关；对所述字线执行所述电性测试；对电性测试合格的样品执行所述特性测试，获得第二性能参数，并根据所述第一性能参数和所述第二性能参数评估所述字线驱动器的热载流子效应退化性能。本发明实施例有利于准确获取字线驱动器的热载流子效应退化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 载流子 效应 退化 性能 评估 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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