[发明专利]阀装置以及MEMS装置在审
| 申请号： | 202080089697.8 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114867682A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 中川和久;福田太助;马渡和明;岛仓启 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;F16K27/00;F25B41/33;B60H1/32;F16K11/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 夏斌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及阀装置以及MEMS装置。阀装置(1100)包括树脂制的壳体(1101)、MEMS装置(1103)以及端子(1102)。壳体具有使第1流体流通的第1流路(1110)、使第2流体流通的第2流路(1111)以及使第1流体与第2流体的混合流体流通的第3流路(1112)。MEMS装置设置于壳体。MEMS装置具有电极部(1138)。端子以使第1端部(1131)和与第1端部相反侧的第2端部(1132)露出的方式嵌入成型于壳体。端子的第1端部与电极部电连接，从第2端部输入电力而向MEMS装置供给。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 mems | ||
【主权项】：
暂无信息
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