[发明专利]阀装置以及MEMS装置

权利要求书

1.一种阀装置，包括：

树脂制的壳体(1101)，具有使第1压力的第1流体流通的第1流路(1110)、使第2压力的第2流体流通的第2流路(1111)、以及使上述第1流体与上述第2流体的混合流体流通的第3流路(1112)；

MEMS装置(1103)，设置于上述壳体，具有与上述第1流路相连的第1通路(1155)、与上述第2流路相连的第2通路(1156)、与上述第3流路相连的第3通路(1157)、以及电极部(1138)，基于向上述电极部供给的电力使上述第1通路和上述第2通路中的至少一方的通路截面积变化，由此生成第3压力的上述混合流体；以及

端子(1102)，以使第1端部(1131)和与上述第1端部相反侧的第2端部(1132)露出的方式嵌入成型于上述壳体，上述第1端部与上述电极部电连接，从上述第2端部输入上述电力而向上述MEMS装置供给。

2.根据权利要求1所述的阀装置，其中，

上述壳体具有一端部(1104)、与上述一端部相反侧的另一端部(1105)、以及上述一端部与上述另一端部之间的躯干部(1106)，

上述第1流路是上述壳体的上述一端部的一部分朝上述另一端部侧凹陷的凹部(1107)，

上述第2流路从上述躯干部的侧面(1113)中的一处起到上述凹部的底面(1108)为止贯通上述壳体，

上述第3流路从上述躯干部的上述侧面中的比上述第2流路的开口部(1116)靠上述一端部侧的一处起到上述凹部的上述底面为止贯通上述壳体，

上述MEMS装置配置于上述凹部的上述底面，

在上述端子中，上述端子的上述第1端部从上述凹部的上述底面露出，上述第2端部从上述壳体的上述另一端部的另一端面(1126)露出。

3.根据权利要求2所述的阀装置，其中，

上述第2流路具有从上述躯干部的上述侧面的一处到另一处为止贯通上述壳体的第1贯通孔(1114)、以及从上述第1贯通孔的中途分支而到上述凹部的上述底面为止贯通上述壳体的第2贯通孔(1115)，

上述第3流路具有从上述躯干部的上述侧面中的一处到另一处为止贯通上述壳体的第3贯通孔(1117)、以及从上述第3贯通孔的中途分支而到上述凹部的上述底面为止贯通上述壳体的第4贯通孔(1118)，

在上述MEMS装置中，上述第2通路与上述第2流路的上述第2贯通孔连接，上述第3通路与上述第3流路的上述第4贯通孔连接。

4.根据权利要求2或3所述的阀装置，其中，

当将穿过上述壳体的上述一端部、上述躯干部以及上述另一端部的方向定义为高度方向时，

上述壳体收纳于具有沿着上述高度方向的中空部(1201)的收纳部(1200)，

进而，上述壳体具有：

第1槽部(1120)，上述侧面中的比上述第3流路的开口部(1119)靠上述一端部侧的一部分沿着以沿着上述高度方向的轴为中心的周向凹陷而成；

第1密封部(1121)，配置于上述第1槽部并且与构成上述中空部的内壁面(1203)接触，由此将上述中空部中的上述一端部侧的第1空间部(1204)与上述第3流路的开口部侧的第2空间部(1205)分离；

第2槽部(1122)，在上述高度方向上，上述侧面中的上述第3流路的开口部(1119)与上述第2流路的开口部之间的一部分沿着上述周向凹陷而成；

第2密封部(1123)，配置于上述第2槽部并且与上述收纳部的上述内壁面接触，由此将上述中空部中的上述第2空间部与上述第2流路的开口部侧的第3空间部(1206)分离；以及

第3槽部(1124)，上述另一端面的外缘部分朝上述一端部侧凹陷而成；以及

第3密封部(1125)，配置于上述第3槽部并且与上述收纳部的上述内壁面接触，由此将上述中空部中的上述第3空间部与上述另一端面侧分离，

上述收纳部具有向上述第1空间部输入上述第1流体的第1导入部(1207)、向上述第3空间部输入上述第2流体的第2导入部(1208)、以及从上述第2空间部输出上述混合流体的排出部(1209)。