[发明专利]阀装置以及MEMS装置

说明书

本发明涉及阀装置以及MEMS装置。阀装置(1100)包括树脂制的壳体(1101)、MEMS装置(1103)以及端子(1102)。壳体具有使第1流体流通的第1流路(1110)、使第2流体流通的第2流路(1111)以及使第1流体与第2流体的混合流体流通的第3流路(1112)。MEMS装置设置于壳体。MEMS装置具有电极部(1138)。端子以使第1端部(1131)和与第1端部相反侧的第2端部(1132)露出的方式嵌入成型于壳体。端子的第1端部与电极部电连接，从第2端部输入电力而向MEMS装置供给。

本申请基于2019年12月26日提交的日本专利申请2019-235646号以及2019年12月26日提交的日本专利申请2019-235647号，将其记载内容援用于此。

技术领域

本发明涉及阀装置以及MEMS装置。

背景技术

一直以来，例如，在专利文献1中提出有具备微型阀的阀装置，该微型阀输入两个流体，使两个流体混合而输出所希望的压力的混合流体。灵活运用MEMS(Micro ElectroMechanical Systems)技术来制作微型阀。

阀装置包括主体部、微型阀、引脚、帽以及电连接器。主体部为沿着高度方向的柱形状。主体部具有将一端部的端面与侧面相连的3个流路。向3个流路输入两个流体，输出一个流体。主体部的另一端部具有另一端部的端面的一部分朝一端部侧凹陷的凹部。

微型阀固定于主体部的一端部的端面。微型阀经由主体部输入两个流体，并且输出混合流体。

引脚沿着高度方向贯通主体部。引脚的一端侧从主体部的一端部的端面露出。引脚的一端侧经由电连接部与微型阀电连接。引脚的另一端侧从主体部的另一端部的凹部的底面露出。

帽固定于主体部的一端部。帽收纳微型阀，并且将其他构件与导线绝缘。帽具有贯通孔。帽将从微型阀输出的混合流体经由贯通孔向外部排出。

电连接器以封闭主体部的另一端部的凹部的方式固定。电连接器具有用于将微型阀与电气设备连接的端子。端子经由导线与引脚电连接。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2017/0219259号说明书

发明内容

但是，在上述现有技术中，主体部为金属制，因此构成阀装置的构件数量变多。因此，阀装置的体型变大。

具体而言，为了实现与电气设备的电连接，而将电连接器固定于主体部的另一端部。需要用于实现电连接器的端子与主体部之间的绝缘的构件。因此，阀装置在高度方向上变大。

此外，引脚通过玻璃密封而固定于主体部。需要用于实现主体部与引脚之间的绝缘的玻璃。主体部需要用于配置引脚以及玻璃的贯通孔。因此，阀装置在与高度方向垂直的宽度方向上变大。

进而，在上述现有技术中，混合流体从微型阀向帽的内部输出，因此微型阀与引脚的电连接部暴露于混合流体。因此，在混合流体中含有水的情况下，电连接部会腐蚀。

本发明的目的在于提供一种能够使体型小型化的阀装置。此外，本发明的目的在于提供一种能够防止电连接部腐蚀的MEMS装置。

本发明的第1方案的阀装置包括壳体、MEMS装置以及端子。

壳体具有使第1压力的第1流体流通的第1流路、使第2压力的第2流体流通的第2流路、以及使第1流体与第2流体的混合流体流通的第3流路。壳体为树脂制。

MEMS装置设置于壳体。MEMS装置具有与第1流路相连的第1通路、与第2流路相连的第2通路、与第3流路相连的第3通路、以及电极部。MEMS装置基于向电极部供给的电力使第1通路以及第2通路中的至少一方的通路截面积变化，由此生成第3压力的混合流体。