[发明专利]收集器流动环在审
| 申请号： | 202080089564.0 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114846410A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | T·J·哈顿;马悦;M·G·兰格洛斯;J·伯克;E·J·S·约翰逊 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了用于收集器流动环(CFR)壳体的系统、设备和方法，收集器流动环(CFR)壳体被配置为减轻燃料碎屑在极紫外(EUV)辐射系统中的积聚。示例CFR壳体可以包括多个喷头流动通道出口，该多个喷头流动通道出口被配置为在CFR壳体的等离子体面向的表面的多个部分之上输出多个第一气态流体流动。示例CFR壳体还可以包括檐槽清洗流动通道出口，该檐槽清洗流动通道出口被配置为在CFR壳体的燃料碎屑接收表面之上输出第二气态流体流动。示例CFR壳体还可包括被配置为支持护罩组装件的护罩安装结构、被配置为输送流体的冷却流动通道、以及被配置为接纳多个光学量测管的多个光学量测端口。 | ||
| 搜索关键词： | 收集 流动 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080089564.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
