[发明专利]红外光截止滤光片的制造方法、固态成像元件用滤光片以及固态成像元件在审
| 申请号： | 202080088870.2 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114902090A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 岩田玲子;平井友梨;明野康刚 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/22 | 分类号： | G02B5/22;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 常海涛;金小芳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种红外光截止滤光片的制造方法，包括：形成含有红外光吸收色素的红外光截止层；在红外光截止层上形成针对剥离液的保护层；在保护层上形成抗蚀剂图案；利用干式蚀刻，使用抗蚀剂图案使保护层和红外光截止层图案化；以及使用剥离液将抗蚀剂图案从保护层上剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 红外光 截止 滤光 制造 方法 固态 成像 元件 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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