[发明专利]红外光截止滤光片的制造方法、固态成像元件用滤光片以及固态成像元件

说明书

一种红外光截止滤光片的制造方法，包括：形成含有红外光吸收色素的红外光截止层；在红外光截止层上形成针对剥离液的保护层；在保护层上形成抗蚀剂图案；利用干式蚀刻，使用抗蚀剂图案使保护层和红外光截止层图案化；以及使用剥离液将抗蚀剂图案从保护层上剥离。

技术领域

本发明涉及红外光截止滤光片的制造方法、固态成像元件用滤光片以及固态成像元件。

背景技术

CMOS图像传感器和CCD图像传感器等固态成像元件具备将入射的光的强度转换为电信号的光电转换元件。固态成像元件的一个例子能够检测分别对应于不同颜色的多种光。固态成像元件具备各颜色用的彩色滤光片和各颜色用的光电转换元件，并且通过各颜色用的光电转换元件来检测各颜色用的光(例如参照专利文献1)。固态成像元件的其他例子具备有机光电转换元件和无机光电转换元件，其不使用彩色滤光片，而是通过各光电转换元件来检测各颜色的光(例如参照专利文献2)。

固态成像元件在光电转换元件上具备红外光截止滤光片。红外光截止滤光片所具有的红外光吸收色素吸收红外光，从而可以截断能被各光电转换元件检测到的红外光。由此，可以提高各光电转换元件中的可见光的检测精度。红外光截止滤光片例如包含作为红外光吸收色素的花青色素(例如参照专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-060176号公报

专利文献2：日本特开2018-060910号公报

专利文献3：日本特开2007-219114号公报

发明内容

本发明所要解决的课题

然而，随着固态成像元件中的像素尺寸的微细化，要求红外光截止滤光片的微细化。红外光截止滤光片的微细化可以通过使用了形成于红外光截止滤光片上的抗蚀剂图案的干式蚀刻来实现。在使用了干式蚀刻的红外光截止滤光片的图案化中，首先，在红外光截止滤光片上形成抗蚀剂图案。接着，使用抗蚀剂图案对红外光截止滤光片进行蚀刻，然后将抗蚀剂图案从红外光截止滤光片上剥离。由于用于将抗蚀剂图案从红外光截止滤光片上剥离的剥离液会与红外光截止滤光片接触，因此红外光截止滤光片所含有的红外光吸收色素的一部分会溶出至红外光截止滤光片的外部。由此，红外光截止滤光片的分光特性劣化。

本发明的目的在于提供能够抑制红外光截止滤光片的分光特性的劣化的红外光截止滤光片的制造方法、固态成像元件用滤光片以及固态成像元件。

用于解决课题的手段

用于解决上述课题的红外光截止滤光片的制造方法包括：形成含有红外光吸收色素的红外光截止层；在所述红外光截止层上形成针对剥离液的保护层；在所述保护层上形成抗蚀剂图案；利用干式蚀刻，使用所述抗蚀剂图案将所述保护层和所述红外光截止层图案化；以及使用所述剥离液将所述抗蚀剂图案从所述保护层上剥离。

用于解决上述课题的固态成像元件用滤光片具备：相对于第1光电转换元件而位于光的入射侧的红色用滤光片、绿色用滤光片、以及蓝色用滤光片的三色的彩色滤光片；相对于第2光电转换元件而位于光的入射侧的红外光路滤光片；以及相对于所述彩色滤光片而位于光的入射侧的红外光截止滤光片。所述红外光截止滤光片包括：红外光截止层、和层叠于所述红外光截止层上且相对于所述红外光截止层而位于光的入射侧的保护层。

用于解决上述课题的固态成像元件具备：第1光电转换元件、第2光电转换元件、以及上述固态成像元件用滤光片。

根据上述各构成，通过保护层可以抑制红外光截止层与剥离液接触，从而可以抑制剥离液渗透至红外光截止层。由此，可以抑制红外光吸收色素从红外光截止层溶出，结果，可以抑制红外光截止滤光片的分光特性的劣化。

附图说明

[图1]是表示一个实施方式的固态成像元件的结构的分解透视图。