[发明专利]红外光截止滤光片的制造方法、固态成像元件用滤光片以及固态成像元件

权利要求书

1.一种红外光截止滤光片的制造方法，包括：

形成含有红外光吸收色素的红外光截止层；

在所述红外光截止层上形成针对剥离液的保护层；

在所述保护层上形成抗蚀剂图案；

利用干式蚀刻，使用所述抗蚀剂图案使所述保护层和所述红外光截止层图案化；以及

使用所述剥离液将所述抗蚀剂图案从所述保护层上剥离。

2.根据权利要求1所述的红外光截止滤光片的制造方法，其中，

形成所述保护层包括：使用包含由环氧基和与所述环氧基反应的官能团交联而成的交联结构的树脂形成所述保护层。

3.根据权利要求2所述的红外光截止滤光片的制造方法，其中，

所述官能团为酚性羟基。

4.根据权利要求3所述的红外光截止滤光片的制造方法，其中，

形成所述保护层包括：使用由至少包含甲基丙烯酸4-羟苯酯和甲基丙烯酸缩水甘油酯的单体所形成的丙烯酸树脂来形成所述保护层。

5.根据权利要求4所述的红外光截止滤光片的制造方法，其中，

形成所述保护层包括：

在使用甲基丙烯酸4-羟苯酯和甲基丙烯酸缩水甘油酯形成所述丙烯酸树脂时，

在将用于形成所述丙烯酸树脂的丙烯酸单体的总和设为100质量％的情况下，

使用20质量％以上的甲基丙烯酸4-羟苯酯，并且使用5质量％以上的甲基丙烯酸缩水甘油酯。

6.根据权利要求5所述的红外光截止滤光片的制造方法，其中，

形成所述保护层包括：使用由甲基丙烯酸4-羟苯酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、以及可与甲基丙烯酸4-羟苯酯和甲基丙烯酸缩水甘油酯当中的一者或二者共聚的单体所形成的所述丙烯酸树脂来形成所述保护层。

7.根据权利要求6所述的红外光截止滤光片的制造方法，其中，

所述可共聚的单体为含有芳香环的丙烯酸单体。

8.根据权利要求7所述的红外光截止滤光片的制造方法，其中，

将所述抗蚀剂图案从所述保护层上剥离包括：使用N-甲基吡咯烷酮或二甲基亚砜作为所述剥离液将所述抗蚀剂图案从所述保护层上剥离。

9.一种固态成像元件用滤光片，具备：

由以相对于第1光电转换元件而位于光的入射侧的方式构成的红色用滤光片、绿色用滤光片、以及蓝色用滤光片构成的彩色滤光片；

以相对于第2光电转换元件而位于光的入射侧的方式构成的红外光路滤光片；以及

相对于所述彩色滤光片而位于光的入射侧的红外光截止滤光片，

所述红外光截止滤光片包括：红外光截止层、和层叠于所述红外光截止层上且相对于所述红外光截止层而位于光的入射侧的保护层。

10.一种固态成像元件，具备：

第1光电转换元件、

第2光电转换元件、以及

权利要求9所述的固态成像元件用滤光片。