[发明专利]射频辅助等离子体生成中的阻抗变换在审
| 申请号： | 202080083903.4 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114762079A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 埃勒·Y·尤科;托马斯·利·弗雷德里克;卡尔·弗雷德里克·利瑟;保罗·康科拉 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/40 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于向设备提供信号的设备可以包括一个或多个射频信号发生器，以及将来自一个或多个RF信号发生器的信号耦合到制造室的电气小传输线。该装置还可以包括电抗电路，以将电气小传输线的阻抗从相对高阻抗灵敏度的区域转换到相对低阻抗灵敏度的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 辅助 等离子体 生成 中的 阻抗 变换 | ||
【主权项】：
暂无信息
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